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MEMS開(kāi)關(guān)是用微機械加工技術(shù)集成在普通硅片上的開(kāi)關(guān)。它用在射頻到毫米波（0.1到1000GHz）的通訊上。一般分為靜電驅動(dòng)的MEMS開(kāi)關(guān)、電磁驅動(dòng)的MEMS開(kāi)關(guān)、熱驅動(dòng)MEMS開(kāi)關(guān)、壓電體驅動(dòng)的MEMS開(kāi)關(guān)。瀚宸提供MEMS開(kāi)關(guān)器件加工定制服務(wù)。