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MEMS開(kāi)關(guān)是用微機械加工技術(shù)集成在普通硅片上的開(kāi)關(guān)。它用在射頻到毫米波（0.1到1000GHz）的通訊上。一般分為靜電驅動(dòng)的MEMS開(kāi)關(guān)、電磁驅動(dòng)的MEMS開(kāi)關(guān)、熱驅動(dòng)MEMS開(kāi)關(guān)、壓電體驅動(dòng)的MEMS開(kāi)關(guān)。瀚宸提供MEMS開(kāi)關(guān)器件加工定制服務(wù)。產(chǎn)品介紹提供MEMS開(kāi)關(guān)器件加工定制服務(wù)。光刻、刻蝕、鍍膜、鍵合等加工工藝，歡迎來(lái)圖定制！
光波導芯片是一種用于傳輸光信號的集成電路，其主要功能是將電信號轉換為光信號，并將光信號傳輸到另一端。瀚宸提供光波導芯片加工定制服務(wù)。產(chǎn)品介紹中慧芯提供光波導芯片MEMS加工定制服務(wù)。光刻、刻蝕、鍍膜、鍵合等加工工藝，歡迎來(lái)圖定制！
定制氮化硅薄膜窗格是同步輻射X射線(xiàn)、軟X射線(xiàn)、紫外或極紫外樣品結構分析或透射成像實(shí)驗的理想承載體。瀚宸可根據用戶(hù)需求，提供定制化解決方案。
微流控器件最主要的加工方法是來(lái)自于微電子行業(yè)的光刻技術(shù)和來(lái)自于表面圖案化的軟光刻技術(shù)。在上述兩種技術(shù)的基礎上，為了制作完整的微流控微通道，一般還需要對兩片材料進(jìn)行鍵合。玻璃和硅片等材料通過(guò)高溫、高壓或高電壓等方法鍵合，而PDMS材料通過(guò)氧等離子處理進(jìn)行鍵合。 微流控芯片采用類(lèi)似半導體的微機電加工技術(shù)在芯片
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